掃描電鏡(SEM)通過電子束掃描被檢測物品的表麵進而產(chan) 生被檢測物品表麵的圖像。掃描電鏡檢測應用範圍涉及到各行各業(ye) ，其中包括生命科學、材料科學、食品科學、化學、電子學等學科，還運用到了陶瓷行業(ye) 、化工行業(ye) 、半導體(ti) 行業(ye) 等生產(chan) 部門。
掃描電鏡檢測目的及技術要求
掃描電鏡檢測目的
1.觀察物體(ti) 表麵的微觀形貌：
掃描電鏡能夠提供物體(ti) 表麵的高分辨率圖像，揭示表麵的紋理、顆粒大小、形狀等微觀特征。這對於(yu) 研究材料的表麵結構、評估材料性能、優(you) 化製備工藝以及探索新材料應用具有重要意義(yi) 。
2.分析物質成分：
通過配合能譜儀(yi) 等設備，掃描電鏡可以檢測樣品發出的特征X射線，從(cong) 而確定樣品中所含元素的種類和含量。這種方法在地質學、考古學等領域有著廣泛的應用，幫助研究人員鑒定岩石、礦物成分以及古代文物的年代和製作工藝。
3.研究材料的結晶結構和性能：
結合電子背散射衍射(EBSD)技術，掃描電鏡可以測量材料的晶體(ti) 取向和晶粒結構，這對於(yu) 研究材料的機械性能和物理性能具有重要意義(yi) 。此外，通過測量二次電子、反射電子和背散射電子等信號，掃描電鏡還可以分析樣品的電學和磁學性能。
掃描電鏡檢測技術要求
(1)樣品製備：
樣品製備是掃描電鏡檢測的第一步，其質量直接影響檢測結果的準確性和分辨率。樣品表麵應平整光滑，無氣泡、灰塵等幹擾物，並且需要塗上一層導電膜以避免表麵電荷幹擾成像。不同類型樣品的製備方法也有所不同：
粉末樣品：直接粘到導電膠上即可。
液體(ti) 樣品：通常滴到矽片或鋁箔上，溶劑和溶液不能反應，溶液需能幹燥，不易幹燥的需說明幹燥條件並選擇合適的基底。
塊體(ti) /薄膜樣品：標明測試麵，若需測試截麵需自備或提前說明製備方法。
(2)真空度：
掃描電鏡需要在高真空環境下工作，真空度一般在10^-3到10^-6Pa之間。真空度的維護對成像質量有重要影響，需要定期檢測和維護。
(3)加熱溫度：
樣品在掃描電鏡中的溫度通常需要在200℃以上，以保證樣品表麵導電性能。但過高的溫度可能對樣品造成損傷(shang) ，需要根據實際樣品情況調整。
(4)探針電流：
探針電流的大小影響成像質量。探針電流越大，信噪比越高，但也可能在樣品表麵形成過多電荷，影響成像。因此，需要根據實際情況選擇適當的探針電流值。
(5)加速電壓：
加速電壓對圖像分辨率有重要影響。高加速電壓可以提高圖像分辨率，但可能對樣品表麵造成損傷(shang) ;低加速電壓則更適合不導電或熱穩定性較差的樣品。
(6)工作距離：
工作距離是物鏡下極靴到樣品表麵的距離，影響分辨率和景深。工作距離增大時，束斑變大，分辨率下降，但孔徑角減小，景深增加。
(7)特殊樣品處理：
對於(yu) 特殊樣品如磁性材料、不導電樣品等，需要進行特殊處理。例如，不導電的樣品需要鍍金或鍍膜以增加導電性;磁性材料需要退磁處理以消除磁疇影響。
掃描電鏡檢測目的及技術要求
