掃描電鏡檢測方法及標準解讀

掃描電鏡(SEM)全稱掃描電子顯微鏡，它是利用掃描電子顯微鏡(SEM)對樣品進行微觀形貌、成分和結構信息的檢測和分析。SEM通過高能電子束掃描樣品表麵，收集並放大電子與(yu) 樣品相互作用產(chan) 生的各種信號，從(cong) 而生成高分辨率的圖像，並可以進行成分分析‌。

掃描電鏡檢測方法及標準解讀

掃描電鏡檢測方法

‌（1）納米材料‌：SEM可用於(yu) 觀察納米材料的結構、顆粒尺寸、分布、均勻度及團聚情況，結合能譜還可以對納米材料的微區成分進行分析，確定材料的組成‌。

‌‌（2）高分子材料‌：SEM可以揭示高分子材料的表麵形態和內(nei) 部結構，觀察高分子材料的老化、疲勞、拉伸及扭轉過程中的斷口斷裂與(yu) 擴散情況‌。

‌（3）‌金屬材料‌：SEM可以分析金屬材料的微觀組織、斷裂模式和表麵磨損、腐蝕和形變情況;還可以分析鋼鐵產(chan) 品的質量和缺陷(如氣泡、顯微裂紋、顯微縮孔等);結合能譜可確定金屬與(yu) 合金各元素的偏析情況，觀察物相並進行成分識別‌。

‌（4）‌陶瓷材料‌：SEM可用於(yu) 觀察陶瓷材料的顯微結構和孔隙分布，分析陶瓷材料的原料、成品的顯微結構及缺陷，包括晶相、晶體(ti) 大小、雜質、氣孔等‌

掃描電鏡檢測標準

GB/T16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T17362-2008 黃金製品的掃描電鏡X射線能譜分析方法

GB/T17722-1999 金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法

GB/T20307-2006 納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T25189-2010 微束分析掃描電鏡能譜儀(yi) 定量分析參數的測定方法

GB/T27788-2020 微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則

GB/T30834-2022 鋼中非金屬夾雜物的評定和統計掃描電鏡法

GB/T31563-2015 金屬覆蓋層厚度測量掃描電鏡法

GB/T35097-2018 微束分析掃描電鏡-能譜法環境空氣中石棉等無機纖維狀顆粒計數濃度的測定

GB/T35099-2018 微束分析掃描電鏡-能譜法大氣細粒子單顆粒形貌與(yu) 元素分析

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